AEMD平台

bevictor伟德官网先进电子材料与器件(AEMD)平台创建于2012年，并于2014年11月正式向校内外用户开放共享服务。面向国家重大战略需求，服务公司双一流建设，平台立足于微纳加工领域，致力于为原创性基础研究和前沿性技术突破提供重要支撑，成为高水平微纳加工科研服务平台。

AEMD现拥有近1800平米东、西区两个净化实验室，设备总资产超3亿，建设6、8英寸半导体级实验线各一条，具备从薄膜沉积与生长、光刻、干法刻蚀、湿法清洗与刻蚀、封装、表征与测试等全链式微纳加工工艺能力，拥有先进的KrF深紫外步进式光刻机(150nm)、电子束直写(10nm)、聚焦离子双束、纳米压印、无掩膜激光直写、离子注入、半导体材料分子束外延生长等高端微纳加工与测试设备，加工尺寸涵盖从亚10纳米至微米级，可加工包括光电子器件、新型存储器、微机电器件与系统(MEMS)、生物芯片、微流控等多领域的新型微纳器件。

       AEMD平台秉承“服务、互动、创新、满意”(SIIS)运行管理模式，为电子、物理、机械、材料、光 学、化学、仪器、环境、医学、生物等多个学科领域的发展研究提供支撑，在为校内学科水平的提高和交叉融合做出积极贡献的同时，也向校外科研单位、企业开放。平台提供6~8英寸并向下兼容尺寸的硅基、玻璃基及聚合物基等器件与结构的微纳加工服务，并为科研项目与新型产品提供技术支持与研发合作，积极推动我国微纳米技术的产业化进程，服务于社会。